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产品技术
产业化应用中心
iTomic® MW Lite批量轻型系列原子层沉积系统
iTomic® MW Lite批量轻型系列ALD系统，设备以国产化零部件为主导，可满足高端研发和新工艺试量产需求，尤其适用于新型太阳能电池以及显示行业应用。
销售邮箱
semisale@xzhcgy.com
产品特点
采用最新自主设计开发的模块化自动平台 与ALD反应腔
1
实现可自由选择的半自动或全自动ALD系统
2
满足各类晶圆尺寸(4、6英寸)的工艺需求，适用于客户高端研发和新工艺开发
3
4寸晶圆可实现单批次装载450pcs
4
薄膜均匀性优，可实现片内<1.5%
5
满足供应链高比率国产化需求
6
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