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Trancendor®晶圆真空传输系统
Trancendor®平台系列是火狐电竞纳米独立研发的、适用于高产能半导体制程设备的晶圆传输系统。该系统可根据客户工艺需要，灵活挂载一至多个工艺腔体（每个工艺腔体可配备一至多个工作站）在真空环境下进行快速高效晶圆传输。
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产品特点
 针对各种机械运动产生的颗粒、金属污染等严苛需求，进行特殊设计，可有效避免晶圆表面微尘和金属污染
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提升平台的产能输出的设计
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提升系统服务性的特殊设计
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具备晶圆传输位置的自动校准功能，确保传送精确度和工艺均匀性等要求
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